燃气蒸汽锅炉产品特点:”另外,“也有人测试过,未经特殊处理容量的气体,其含尘量一般大于1粒/l(≥.3μm),未经钝化处理的碳钢管道,其输送的气体含尘量大于6粒/l(≥.3μm)。”同时,在其制备过程的管路等装置和调换贮罐等过程中很难满足安装、清洗和消毒的确认,又存在着无法验证氮气的微生物、热原等项目的缺陷。从中可看到,液氮在制备和输送过程易出现的弊端,这些都很满足GMP验证要求,特别是当今类似气体辅料供应还没有列入验证规定时,其液氮的质保是难以置信的。
锅炉:烟管时三回程设计,AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多,粒子污染控制只要确定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响,更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物,而园片加工工序当前已多于3多个立工序,对AMC控制指标的确定更是复杂。IC生产对AMC的控制,对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求,对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm~1pptm间。配备节能器,效率达到92%以上,如再增配冷凝器,则效率可接近。
耐久力超群:有充裕的传热面积湿背式后壁WET-BACK构造,坚固。
燃烧系统:的燃烧系统,使燃烧室温度场均匀,燃烧,且易于操作及维护。
启动时间短:从自动点火到产生8kg/㎝²压力的蒸汽仅需要15分钟左右。
散热损失小:三层式锅炉炉壳保温,内层陶瓷纤维,中介岩棉板,外覆气质水泥,以降低散热损失及提高外包强度。
安全控制完备:使用可靠性的三重水位,三重压力安全控制装置,可确保系统的安全及运转。
维护方便:因本体构造及燃烧系统均简单坚固,所以操作或保养人员均能胜任维护工作。
美观大方:前烟箱门增设隔热板,美观大方,同事降低热损失并提供良好的操作环境。
产品特点:
锅炉:烟管时三回程设计,配备节能器,效率达到92%以上,如再增配冷凝器,则效率可接近。
耐久力超群:有充裕的传热面积湿背式后壁WET-BACK构造,坚固。
燃烧系统:的燃烧系统,使燃烧室温度场均匀,燃烧,且易于操作及维护。
启动时间短:从自动点火到产生8kg/㎝²压力的蒸汽仅需要15分钟左右。
散热损失小:三层式锅炉炉壳保温,内层陶瓷纤维,中介岩棉板,外覆气质水泥,以降低散热损失及提高外包强度。
安全控制完备:使用可靠性的三重水位,三重压力安全控制装置,可确保系统的安全及运转。
维护方便:因本体构造及燃烧系统均简单坚固,所以操作或保养人员均能胜任维护工作。
美观大方:前烟箱门增设隔热板,美观大方,同事降低热损失并提供良好的操作环境。